FGL(RTP)系列滑轨式管式炉(T max 1100℃) 滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温。高纯石英管作为炉膛,无污染,抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观,周边拓展性好,适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。 特点 u 工作温度RT~1000℃ u 程序控温仪控制精准、可编辑、储存并调用多段程序 u 采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热 u 炉壳结构,双层炉壳风冷结构 u 不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀 u 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电 u额外选配: 1、炉内测量系统:(氧含量测量系统、温度测量系统) 2、真空系统:(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组) 3、气氛系统:(浮子流量计、质量流量计) 4、监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控)
注:选件需配置拓展柜体
技术参数:
设备型号
设计温度
管径
加热区
温区数
热电偶类型
电压
功率
FGL(RTP)-40/11/1
1100℃
40mm
320 mm
1个
K型
220V
3.0KW
FGL(RTP)-50/11/1
1100℃
50mm
320 mm
1个
K型
220V
FGL(RTP)-60/11/1
1100℃
60mm
320 mm
1个
K型
220V
FGL(RTP)-70/11/1
1100℃
70mm
320 mm
1个
K型
220V
FGL(RTP)-80/11/1
1100℃
80mm
320 mm
1个
K型
220V
销售热线:0551-68998684, 13966718548 方先生
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